[发明专利]抛光垫及其制造方法有效
| 申请号： | 200710097964.2 | 申请日： | 2007-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101219534A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥;洪永璋 | 申请（专利权）人： | 三芳化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/00;H01L21/304;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国伟;臧慧敏 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明主要涉及一种抛光垫及其制造方法。所述抛光垫包含一基础材料，所述基础材料具有一表面，用于抛光一衬底，其中所述表面包含一非织布和一弹性体。所述非织布由一长纤维制成，且所述弹性体嵌入所述非织布中。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，其包含一基础材料，所述基础材料具有一表面，用于抛光一衬底，其中所述表面包含非织布和一弹性体，所述非织布由一长纤维制成，且所述弹性体嵌入所述非织布中。
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