[发明专利]图案转印设备、压印设备和图案转印方法无效
| 申请号： | 200710100809.1 | 申请日： | 2007-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101059650A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 末平信人;关淳一;稻秀树;千德孝一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种把在具备对准标记的印模上形成的压印图案转印到具备对准标记的基板上，或者转印到置于基板和印模之间的树脂材料上的图案转印方法，所述图案转印方法包括通过把提供给印模的对准标记和提供给参考基板的对准标记布置在第一物体位置，并通过第一图像拾取装置观察对准标记，获得第一图像的第一步骤，通过把提供给参考基板的对准标记布置在与第一物体位置分开的第二物体位置，并通过第二图像拾取装置观察对准标记，获得第二图像的第二步骤，和通过使用第一和第二图像，获得和对准标记之间图像位置方面的差异有关的信息的第三步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 设备 压印 方法 | ||
【主权项】：
1、一种把在具备对准标记的印模上形成的压印图案转印到具备对准标记的基板上，或者转印到置于基板和印模之间的树脂材料上的图案转印设备，所述图案转印设备包括：在第一物体位置获得图像的第一图像拾取装置；和在与第一物体位置隔开的第二物体位置获得图像的第二图像拾取装置，其中印模的对准标记和基板的对准标记，或者参考基板的对准标记可放置在第一物体位置，基板或参考基板的对准标记可放置在第二物体位置，其中通过第一和第二图像拾取装置观察放置在第一和第二物体位置的对准标记，从而获得与通过第一和第二图像拾取装置观察的对准标记之间图像位置方面的差异有关的信息，和其中根据获得的信息实现面内方向上印模和基板之间的对准，从而把压印图案转印到基板或树脂材料上。
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