[发明专利]双向过滤电弧等离子体源有效
| 申请号： | 200710101111.1 | 申请日： | 2007-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101068449A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 理查德·P·韦尔蒂 | 申请（专利权）人： | 蒸汽技术公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/02;H05H1/24;C23C14/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于产生等离子体的设备，包括：具有配置成发射包括等离子体和大粒子的材料的可蒸发表面的阴极；配置成引导等离子体的反向引导的输出孔；配置成将至少一些等离子体传输到输出孔同时阻止至少一些大粒子的传输的过滤器，该过滤器包括至少一个通常设置成面向至少一部分可蒸发表面且与其平行的偏转电极；第一元件，用于在阴极与所述至少一个偏转电极之间产生具有第一极性的第一磁场分量；第二元件，用于在阴极的可蒸发表面处产生具有与第一极性相反的第二极性的第二磁场分量，使得在可蒸发表面和至少一个偏转电极间产生低场区域。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 过滤 电弧 等离子体 | ||
【主权项】：
1、一种用于产生等离子体的设备，包括：具有配置成发射包括等离子体和大粒子的材料的可蒸发表面的阴极；配置成引导所述等离子体的反向引导的输出孔；配置成将至少一些所述等离子体传输到所述输出孔同时阻止至少一些所述大粒子的传输的过滤器，该过滤器包括至少一个通常设置成面向至少一部分所述可蒸发表面且与其平行的偏转电极；第一元件，用于在所述阴极与所述至少一个偏转电极之间产生具有第一极性的第一磁场分量；第二元件，用于在所述阴极的所述可蒸发表面处产生具有与所述第一极性相反的第二极性的第二磁场分量，使得在所述可蒸发表面和所述至少一个偏转电极间产生低场区域。
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