[发明专利]光学位置测量装置有效
| 申请号： | 200710101163.9 | 申请日： | 2007-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101071059A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | W·霍尔扎普菲尔 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01D5/26;G01D5/38 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘春元;魏军 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学位置测量装置，用于检测在至少一个测量方向上彼此相对运动的两个对象的位置。为此所述位置测量装置包含量具，所述量具与两个对象的一个连接，并且所述量具具有在测量方向上延伸的增量分度以及至少一个在基准位置处的基准标记。所述基准标记由具有位置可变的分度周期的结构构成。此外所述位置测量装置包含取样单元，所述取样单元与两个对象的另一个连接，其中所述取样单元具有取样装置，所述取样装置用于在基准位置处产生至少一个基准信号。所述基准标记具有在增量分度的分度周期范围内的平均分度周期。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.光学位置测量装置，用于检测在至少一个测量方向(x)上彼此相对运动的两个对象的位置，具有-量具，所述量具与两个对象的一个连接，并且所述量具具有在测量方向(x)上延伸的增量分度(11)以及至少一个在基准位置(XREF)处的基准标记(12.1、12.3)，其中所述基准标记(12.1、12.2)由具有位置可变的分度周期(TPREF)的结构构成，-取样单元(20)，所述取样单元与两个对象的另一个连接并且包含取样装置，所述取样装置用于在基准位置(XREF)处产生至少一个基准信号(REF)，其特征在于，所述基准标记(12.1、12.2)具有在增量分度(11)的分度周期(TPINC)范围内的平均分度周期(TPREF，m)。
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