[发明专利]一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构无效
| 申请号： | 200710102034.1 | 申请日： | 2007-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101298661A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赖学明 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构，针对现有技术探测准确度低，调整困难等问题而发明，包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒，红外传感装置采用对射式传感装置，包括对应设置的红外发射机与红外接收机；红外发射机、红外接收机与机台连接，当暗盒放置于机台内时，红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡；红外发射机与红外接收机竖直对应设置。本发明提高了探测精确度减少了误报的可能性，提高了机台生产效率延长了红外传感设备的使用寿命，理论寿命可达到原有传感设备的10倍以上，降低设备的维护成本。且本结构对原有机台的改进不大，结构简单，易安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 设备 红外 传感 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构，包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒，其特征在于，红外传感装置采用对射式传感装置，包括对应设置的红外发射机与红外接收机；红外发射机、红外接收机与机台连接，当暗盒放置于机台内时，红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡。
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