[发明专利]多层式电探针的结构以及制造方法无效
申请号: | 200710102133.X | 申请日: | 2007-04-29 |
公开(公告)号: | CN101294983A | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
发明(设计)人: | 黄萌祺;周敏杰;张复瑜;吴景平 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种多层式电探针及其制造方法。一种多层式电探针,适用以检测所述待测元件,包括第一条层与第二条层。第一条层具有第一导电率与第一机械强度。第二条层具有第二导电率与第二机械强度。所述第一条层与所述第二条层紧固接触成为结构体,以达到具有所要的机械强度与耐电流的至少其一。又,多层式电探针更可以再包括至少第三条层,以达到所要的耐电流能力与所要的机械强度。 | ||
搜索关键词: | 多层 探针 结构 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种多层式电探针,包括:第一条层,具有第一导电率与第一机械强度;以及第二条层,具有第二导电率与第二机械强度,其中所述第一条层与所述第二条层紧固接触成为结构体,作为多层式电探针的一部分。
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