[发明专利]具有温度开关的粒子光学设备有效
申请号: | 200710102334.X | 申请日: | 2007-04-30 |
公开(公告)号: | CN101067993A | 公开(公告)日: | 2007-11-07 |
发明(设计)人: | G·J·范德沃特;P·M·霍克斯 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种用于粒子光学设备的热控开关,在例如低温透射电子显微镜中,被置于样品保持器(7)的末端(20)处的样品(34)可被保持处于例如液氮温度。需要的是在不将整个显微镜从低温温度加热至室温的情况下以简单的方式在例如室温下能够对样品进行检测。通过使用热控开关(40),实现上述需求变为可能。为此,所述热控开关改变所述设备中的冷源(22)与所述样品保持器(7)的所述末端(20)之间的热路径,由此,在一个位置如位置(46a)处,建立了从所述末端(20)到所述冷源(22)的连接,且在另一位置如位置(46b)处,与设备保持处于室温的部分(44)建立起连接。 | ||
搜索关键词: | 具有 温度开关 粒子 光学 设备 | ||
【主权项】:
1、一种粒子光学设备,所述粒子光学设备中装备有:具有末端(20)的样品保持器(7),所述末端具体体现为具有附接到所述末端上的样品(34);用于保持所述设备的冷源(22)处于低温的冷却设施(26、28),和;用于通过将所述样品保持器(7)的所述末端(20)热连接至所述冷源(22)而对所述样品保持器(7)的所述末端(20)进行冷却的热连接装置(30),其特征在于,所述热连接装置包括热控开关(40),所述热控开关(40)具有通过不同导热性来区分的至少两种不同的状态,结果使得从所述样品保持器(7)的所述末端(20)到所述冷源(22)的导热性对于所述不同状态而言是不同的,这在操作中导致所述样品保持器(7)的所述末端(20)的温度对于所述热控开关(40)的所述不同状态而言是不同的。
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