[发明专利]全氟、氢氟碳及全氯碳、氢氯碳化合物气体的分解触媒及其制造方法无效
| 申请号： | 200710102501.0 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101293212A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘宝珠 | 申请（专利权）人： | 刘宝珠 |
| 主分类号： | B01J29/84 | 分类号： | B01J29/84;B01J27/18;B01J35/10;B01D53/70 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 余岚 |
| 地址： | 台湾省桃园县中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可分解全氟、氢氟碳及全氯碳、氢氯碳化合物气体的分解触媒及其制造方法，该触媒至少包含有高表面积耐高温载体与有效分解成份，该有效分解成份包括选自下列中的至少一种：碱土金属氧化物、碱土金属碳酸盐及氧化铝(Al2O3)，且该有效分解成份可进一步包括有占触媒重量5～20％的过渡金属化合物和/或贵金属元素以及10～40％的磷酸盐类等。将上述组成物与载体组成物混合、造粒、烧结、浸泡及干燥后，即形成可分解全氟化物及氟氯化合物气体的分解触媒，特别适用于半导体及液晶面板工艺中，干式蚀刻(dry etch)与化学气相沉积(CVD)所排出的全氟、氢氟碳及全氯碳、氢氯碳化合物气体的分解。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氟碳 全氯碳 碳化 气体 分解 触媒 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用以制造可分解全氟、氢氟碳及全氯碳、氢氯碳化合物气体的分解触媒的方法，包括下列步骤：(a)将耐高温的陶瓷原料、对全氟、氢氟碳及全氯碳、氢氯碳化合物的有效分解成份以及碳粉混合造粒；(b)将混合造粒的颗粒以600～1200℃的温度烧结为多孔性颗粒状载体；及(c)将载体浸泡于含磷酸盐类溶液后干燥，以形成颗粒状触媒。
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