[发明专利]用于等离子反应器加热静电卡盘的高交流电流、高射频功率的AC－RF退耦滤波器

摘要

本发明公开了一种与电阻加热元件电抗性耦合的射频阻塞滤波器，其用于使得两相交流电源过滤分离至少2千伏特峰－峰的高频频率的功率，同时将来自所述两相交流电源的几千瓦的60Hz的交流功率提供给所述电阻加热元件而不会过热，两相交流电源具有一对接头并且所述电阻加热元件具有一对接头。滤波器包括一对圆柱形的绝缘的封套，各个封套具有在约1到2英寸之间的内径，以及各自多个熔融的铁粉超环状体，其同轴堆叠在所述一对圆柱形封套的各个封套中，并且具有大约10的磁渗透率，其中超环状体的外径与各个所述封套的所述内径大致相同。一对直径在3毫米到3.5毫米之间的导线导体，其螺旋地缠绕在所述一对封套的相应一个上，从而对于各个所述封套形成各自在约16匝到24匝范围内的感应器线圈，各个感应器具有输入端和输出端。

主权项

1.一种与电阻加热元件电抗性耦合的滤波器，其用于使得两相交流电源过滤分离至少2千伏特峰一峰的高频频率的功率，同时将来自所述两相交流电源的几个千瓦的60Hz的交流功率提供给所述电阻加热元件而不会过热，所述两相交流电源具有一对接头并且所述电阻加热元件具有一对接头，所述滤波器包括：一对圆柱形的绝缘的封套，各个封套具有在约1到2英寸之间的内径；各自多个熔融的铁粉超环状体，其同轴堆叠在所述一对圆柱形封套的各个封套中，并且具有大约10的磁渗透率，其中所述超环状体的外径与各个所述封套的所述内径大致相同；一对直径在3毫米到3.5毫米之间的导线导体，其螺旋地缠绕在所述一对封套的相应一个上，从而对于各个所述封套形成各自在约16匝到24匝范围内的感应器线圈，各个所述感应器具有输入端和输出端，各个所述感应器的所述输入端与所述两相交流电源的所述一对接头的相应其中之一耦合，并且各个所述感应器的所述输出端与所述电阻加热元件的所述一对接头的相应其中之一耦合；以及一对电容器，其连接在各个所述一对感应器的输入端与地之间，各个所述电容器具有在超过所述高频频率至少几MHz的谐振频率处与相应一个所述感应器的感应形成谐振的电容，从而所述滤波器在所述高频频率处表现出感抗并且在所述高频频率处具有超过60dB的射频衰减。