[发明专利]印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法有效
| 申请号： | 200710104732.5 | 申请日： | 2007-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101063817A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法，其中，所述抗蚀剂被涂覆在印刷辊上，然后被依次转印在印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能，使得将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上，由此实现精确的抗蚀剂图形。 | ||
| 搜索关键词： | 印刷 用抗蚀剂 使用 抗蚀剂 构图 方法 | ||
【主权项】：
1、一种印刷用抗蚀剂，该抗蚀剂被涂覆在印刷辊上，然后被依次转印在印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能。
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