[发明专利]包含用于驱动静电型致动器的电路的半导体集成电路、MEMS及静电型致动器的驱动方法

摘要

半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。

主权项

1.一种半导体集成电路，包括：具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极之间配置的绝缘膜的静电型致动器；检测在上述静电型致动器的上述绝缘膜中积蓄的电荷量的检测电路；存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果的存储电路；以及根据上述存储电路所存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化的偏置电路。