[发明专利]用于屏蔽具有双重区域和光学接入特征的处理腔端口的设备

摘要

窗口构件上的端口提供第一接入到处理腔内部用于气体注射以及用于处理分析和测量的第二光学接入。通过环绕接入区域的接地屏蔽件减少在与窗口构件整合的气体注射孔上的等离子体引起的蚀刻和沉积，并且通过涂层降低来自注射器的第一透明光孔壁和来自气体与光学接入配件的第二透明光孔的颗粒脱落。屏蔽件环绕所述区域，并配置有联接器以将气体和光学通道配件保持到窗口构件用于通到注射器。联接器压缩密封件从而配件中的气体孔被密封到注射器的增压间，同时允许光学接入通过第一透明光孔和第二透明光孔进入所述腔。

主权项

1、一种保护接入到处理腔的接入区域不受邻近处理腔窗口产生的电场影响的窗口，该窗口包括：窗口构件，配置有外侧和腔侧以及从外侧平行于轴线延伸进入构件的凹槽，该凹槽限定了被保护不受电场影响的接入区域的第一部分，该窗口构件进一步配置有透明光孔，该透明光孔具有环形壁，该环形壁配置有介于外侧和腔侧之间的轴向长度，该透明光孔部分地被凹槽环绕，该透明光孔还配置有直径；以及透明光孔的环形壁上的涂层，该具有涂层的环形壁的内涂层直径基本上等于透明光孔的轴向长度值，制作涂层的材料是从包括氧化铈、氧化锆、钇稳定的氧化锆、热喷射氧化铝、氧化钇和具有气孔的氧化钇的组中选择的，其中该气孔被从包括甲基丙烯酸酯和聚合物中选择的材料密封。