[发明专利]模拟分配糊状物参数的方法及能够模拟分配糊状物参数的装置有效
申请号: | 200710106154.9 | 申请日: | 2007-05-24 |
公开(公告)号: | CN101051330A | 公开(公告)日: | 2007-10-10 |
发明(设计)人: | 赵容柱 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲;吴贵明 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种能够模拟在基板上形成给定糊状物图案的参数的糊状物分配器,该糊状物分配器包括:第一输入装置,图案参数被输入到该第一输入装置中;第二输入装置,分配参数被输入到该第二输入装置中;以及模拟信息产生装置,用于根据图案参数和分配参数来产生模拟信息,并根据该模拟信息来显示形成给定糊状物图案的模拟。本发明提供的优点在于,根据图案参数和分配参数,在监视器上可视地检查给定糊状物图案是否适当地形成在基板上,而无需在基板上实际分配给定糊状物图案。 | ||
搜索关键词: | 模拟 分配 糊状 参数 方法 能够 装置 | ||
【主权项】:
1.一种能够模拟在基板上形成给定糊状物图案的参数的糊状物分配器,所述糊状物分配器包括:第一输入装置,图案参数被输入到所述第一输入装置中;第二输入装置,分配参数被输入到所述第二输入装置中;以及模拟信息产生装置,用于根据所述图案参数和所述分配参数来产生模拟信息,并根据所述模拟信息来显示形成所述给定糊状物图案的模拟。
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