[发明专利]不均检查方法、不均检查装置以及记录介质

摘要

在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。

主权项

1.一种不均检查方法，对基板上的线条状不均进行检查，该基板根据多个矩形区域将会被切割，该多个矩形区域具有相同的图案，并以隔开间隙而纵横排列的方式被设定，其特征在于，包括：准备对象图像的工序，对拍摄上述基板而取得的多灰度原始图像上与上述间隙对应的区域进行遮蔽，从而准备对象图像；确定线条状不均要素区域的工序，在对上述对象图像进行了二值化的二值图像中，将长轴方向上的长度与垂直于上述长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的多个闭区域，确定为多个线条状不均要素区域；检测工序，在上述多个线条状不均要素区域中检测出两个线条状不均要素区域，该两个线条状不均要素区域是上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且在相邻的矩形区域内存在的区域。