[发明专利]用于确定熔丝状态的半导体装置和方法有效
申请号: | 200710106568.1 | 申请日: | 2007-06-06 |
公开(公告)号: | CN101086983A | 公开(公告)日: | 2007-12-12 |
发明(设计)人: | 冈田纪雄;上田岳洋 | 申请(专利权)人: | 恩益禧电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L21/66;H01L21/768 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 关兆辉;陆锦华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体装置,包括:半导体衬底;熔丝,其包括导电材料并且形成在半导体衬底上;接触目标导体区域,其被放置在半导体衬底上的熔丝周围,这样形成该接触目标导体区域,以便当执行切断该熔丝的处理时,通过构成该熔丝的导电材料使其与该熔丝电接触;以及确定单元,其检测该熔丝是否电断开,以及检测该接触目标导体区域与该熔丝是否电连接,并且当检测到所述熔丝电断开时或检测到所述接触目标导体区域与所述熔丝之间的电连接时,确定该熔丝处于切断状态。 | ||
搜索关键词: | 用于 确定 丝状 半导体 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,包括:半导体衬底;熔丝,该熔丝包括导电材料并且形成在所述半导体衬底上;接触目标导体区域,该接触目标导体区域被放置在所述半导体衬底上的所述熔丝周围,且这样形成该接触目标导体区域:以便当执行切断该熔丝的处理时,通过构成该熔丝的导电材料与该熔丝电接触;以及确定单元,该确定单元检测所述熔丝是否电断开,以及所述接触目标导体区域与所述熔丝是否电连接,并且当检测到所述熔丝电断开时或检测到所述接触目标导体区域与所述熔丝之间的电连接时,确定所述熔丝处于切断状态。
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