[发明专利]用于产生糊状物分配器的图案形成参数的方法及设备有效

专利信息
申请号: 200710107312.2 申请日: 2007-05-25
公开(公告)号: CN101051331A 公开(公告)日: 2007-10-10
发明(设计)人: 赵容柱 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50;G02F1/1339
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲;吴贵明
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供了一种用于产生糊状物分配器的图案形成参数的设备,该设备包括:输入装置,通过该输入装置输入分配参数和绝对图案参数;图案形成参数产生装置,根据所读取的绝对图案参数产生图案形成参数;存储装置,存储由图案形成参数产生装置产生的图案形成参数;屏幕图像产生装置;显示单元,在其上显示由屏幕图像产生装置产生的屏幕图像;以及参数输出装置,用于向糊状物分配器输出图案形成参数和分配参数。对于显示在显示单元上的糊状物图案的图案形成参数以及显示在显示单元上的糊状物图案两者的选择性编辑提高加了限定实际形成在基板上的糊状物图案时的精度,从而消除了输入图案形成参数时出现错误的可能性。
搜索关键词: 用于 产生 糊状 分配器 图案 形成 参数 方法 设备
【主权项】:
1.一种用于产生糊状物分配器的图案形成参数的设备,所述设备包括:输入装置,通过所述输入装置输入分配参数和绝对图案参数;图案形成参数产生装置,根据所读取的绝对图案参数产生图案形成参数;存储装置,存储由所述图案形成参数产生装置产生的所述图案形成参数;屏幕图像产生装置,包括:图形图像产生装置,根据所述图案形成参数产生糊状物图案的图形图像;以及图像结合装置,结合糊状物图案的所述图形图像,并产生包括糊状物图案的结合后的图形图像的屏幕图像;显示单元,在其上显示由所述屏幕图像产生装置产生的所述屏幕图像;以及参数输出装置,用于向所述糊状物分配器输出所述图案形成参数和所述分配参数。
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