[发明专利]蚀刻废液的回收技术及其装置无效
| 申请号： | 200710107861.X | 申请日： | 2007-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN101307446A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 郑文锋;熊祖德;孙尚培 | 申请（专利权）人： | 先丰通讯股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省桃园县观*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明主要利用薄膜电极沉积法(Membrane Electrodeposition)处理含有铜离子的氯化铁的蚀刻废液。将氯化铁蚀刻废液置于阴极室中，其中的氯化铁完全转化为氯化亚铁后，铜离子于阴极上沉积为铜，以机械力将阴极上的铜屑刮下，铜屑随氯化亚铁溶液经过滤机将铜屑滤出。铜离子完全于阴极沉积除尽后，将所滤出的氯化亚铁溶液导入阳极室中。其氯化亚铁的亚铁离子于阳极室形成氯化铁，可再回收使用为蚀刻液。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 回收 技术 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种蚀刻废液的回收技术，以薄膜电极沉积法处理含有氯化铁的蚀刻废液；其特征在于：该含有氯化铁的蚀刻废液置放于阴极室中，并可将蚀刻废液中的铜回收，并将阴极室所滤出的氯化亚铁以及盐酸导入阳极室中，其氯化亚铁则于阳极室而形成氯化铁，而副槽室中盐酸的氯离子则经由阴离子薄膜朝阳极室移动，盐酸的氢离子则经由阳离子薄膜朝阴极室移动。
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