[发明专利]半导体装置及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200710108140.0 申请日: 2007-05-30
公开(公告)号: CN101083249A 公开(公告)日: 2007-12-05
发明(设计)人: 小林道弘;二阶堂裕文;胜木信幸;川胜康弘 申请(专利权)人: 恩益禧电子股份有限公司
主分类号: H01L23/522 分类号: H01L23/522;H01L27/11;H01L21/768
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 钟强;关兆辉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的课题在于减少制造步骤的同时,使二个布线层之间电连接。解决方法是,在二个布线11C、11D之间的下层部中具有接触插塞9c,其形成为多珠串接形状,并且使二个布线11C、11D电连接;二个布线11C、11D彼此分离,形成在同一层上;接触插塞9c与连接到布线4b的接触插塞9b、及连接到源极/漏极区域6的接触插塞9a同时形成。
搜索关键词: 半导体 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,在二个布线各自的下层部中具有接触插塞,该接触插塞形成为多珠串接形状乃至狭缝状,并且电连接上述二个布线。
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