[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法无效
| 申请号： | 200710108160.8 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101082774A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 佐藤守正 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过使用I/O值及玻璃化温度在一定数值范围的粘合剂和I/O值在一定数值范围的粘合剂，即使感光层的厚度在25μm以上，析像度、遮盖性、粘附性及剥离也出色，可以抑制边缘熔合的发生的图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法。所以，该图案形成材料等的特征在于，在支撑体上至少具有厚度为25μm以上的感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该粘合剂含有I/O值为0.300～0.650而且玻璃化温度(Tg)在80℃以上的粘合剂A，和I/O值为0.700～0.950的粘合剂B。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于，在支撑体上至少具有厚度为25μm以上的感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，该粘合剂包含：I/O值为0.300～0.650而且玻璃化温度(Tg)在80℃以上的粘合剂A，和I/O值为0.700～0.950的粘合剂B。
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