[发明专利]指点装置有效
| 申请号： | 200710108499.8 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101093428A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 板垣信孝 | 申请（专利权）人： | 安华高科技ECBUIP（新加坡）私人有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/033 | 分类号： | G06F3/033;G06F3/038 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明公开了一种指点装置，包括光源、孔径部件和检测器。光源提供入射光，该入射光用于以预定入射角对板的正面进行照射。板具有正面和背面，并对入射光的波长透明。孔径部件具有开口，来自正面的散斑光和来自背面的散斑光穿过该开口。所述散斑光由入射光造成。检测器对穿过开口的散斑光的强度进行检测。开口具有沿形成入射角的方向的纵向尺度，使得来自正面的散斑光和来自背面的散斑光在检测器处彼此重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 指点 装置 | ||
【主权项】：
1.一种指点装置，包括：光源，用于提供入射光，所述入射光以预定入射角照射板的正面，所述板具有所述正面和背面并且对所述入射光的波长透明；孔径部件，具有开口，来自所述正面的散斑光和来自所述背面的散斑光穿过所述开口，所述散斑光由所述入射光造成；以及检测器，用于对穿过所述开口的所述散斑光的强度进行检测；其中，所述开口具有沿形成所述入射角的方向的纵向尺度，使得来自所述正面的散斑光和来自所述背面的散斑光在所述检测器处彼此重叠。
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