[发明专利]具有双螺旋惠斯通电桥元件的流量传感器换能器无效
| 申请号： | 200710108867.9 | 申请日： | 2007-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101086456A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | W·T·基利安 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01F1/69 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;王小衡 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 当流体流过沟道并在空气桥下面时，流量传感器换能器可以测量流体流动速度。电阻式热装置(RTD)和加热器在空气桥的顶部上，其中两个RTD在加热器的上游以及两个在下游。可以以惠斯通电桥结构来连接RTD。可以使用基于其温度来改变其电阻的磁阻材料以形成RTD。然而，由于磁场和材料的磁性随时间的变化，可能改变磁阻材料的温度响应。将RTD形成双螺旋结构使磁场的影响最小化。因此，可以使用磁阻材料例如坡莫合金来代替昂贵的材料例如铂。可以使用标准的半导体加工技术来形成所得到的流量传感器换能器，并且比包含铂的传感器更便宜。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双螺旋 斯通 电桥 元件 流量传感器 换能器 | ||
【主权项】：
1、一种系统，包括：具有顶部的衬底；在顶部上的空气桥，其中流体可以流过在空气桥和衬底顶部之间的沟道，以及其中流体具有流动方向；在空气桥上的加热器；以及包括两个上游温度传感器和两个下游温度传感器的多个温度传感器，其中两个上游加热元件在空气桥上并被定位在加热器的上游，其中两个下游加热元件在空气桥上并被定位在加热器的下游，以及其中加热元件中的至少一个具有双螺旋结构。
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