[发明专利]接设有被动元件的半导体装置制法无效
申请号: | 200710109119.2 | 申请日: | 2007-06-12 |
公开(公告)号: | CN101325164A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
发明(设计)人: | 林明山;宋健志;王忠宝;顾永川;陈建志 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种接设有被动元件的半导体装置制法,主要是使多个基板单元中跨接有被动元件的接地线路及电源线路,加以电性连接至预设于基板单元间切割道的导电线路以形成短路回路,或通过焊线将该预设于基板单元间切割道的导电线路与电源线路及接地线路电性连接而形成短路回路,亦或利用打线机于电源线路上形成一凸块(stud bump),通过该电源线路与该打线机的接地回路形成短路回路,从而使该被动元件形成短路回路的方式,以释放该被动元件因电浆清洗基板单元及芯片表面时所填充的电力,而后再进行芯片与基板单元间的接地、电源及信号的电性连接,避免被动元件与芯片电性连接时,因被动元件放电所产生的瞬间电流脉冲而导致芯片损毁问题。 | ||
搜索关键词: | 设有 被动 元件 半导体 装置 制法 | ||
【主权项】:
1.一种接设有被动元件的半导体装置制法,包括:提供具有多个基板单元的基板模块片,各该基板单元之间具有切割道,且该基板单元设有置晶区、接地线路及电源线路,而该切割道上设有导电线路,并使该导电线路与该接地线路及电源线路电性连接以形成短路回路;于该基板单元上设置至少一被动元件,并使该被动元件与该接地线路及电源线路电性连接;于该基板单元的置晶区上设置一具有多个焊垫的芯片;通过焊线将该芯片上的焊垫电性连接至该接地线路及电源线路;将该芯片上未与该接地线路及电源线路电性连接的焊垫通过焊线与该基板单元电性连接;以及进行封装制程并分割各该基板单元,以移除该切割道上的导电线路。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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