[发明专利]软磁薄膜电感器及磁性多元合金薄膜无效
申请号: | 200710110281.6 | 申请日: | 2007-06-08 |
公开(公告)号: | CN101320617A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
发明(设计)人: | 叶均蔚;张文成;杨智超;郑乃文 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01F17/00 | 分类号: | H01F17/00;H01F10/12;H01F41/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 封新琴;巫肖南 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种适合高频操作的磁性多元合金薄膜。此磁性多元合金薄膜用于改善薄膜电感在高频操作下的品质因子,并可提高其电感值。此磁性多元合金薄膜主要是引入多元高熵合金的材料设计概念,利用多元高熵合金所具备的一些材料特性,如高无序性、纳米微晶结构、低矫顽磁场以及高电阻率等,来达到高频操作时磁性多元合金薄膜仍具有良好的软磁性质。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 电感器 磁性 多元 合金 | ||
【主权项】:
1.一种软磁薄膜电感器,包括:第一介电层;螺旋状导电层,设置于前述第一介电层之上,前述螺旋状导电层的起点位于螺旋状的中央,且前述螺旋状导电层的终点位于螺旋状的最外围;第二介电层,设置于在前述螺旋状导电层之上;以及磁性多元合金薄膜,设置于前述第二介电层之上,前述磁性多元合金薄膜的组成的元素种类为3至13。
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