[发明专利]紫外线照射装置及具备紫外线照射装置的切削机

摘要

本发明提供一种不随着时间经过而光的强度降低、能够照射稳定的强度的紫外线的紫外线照射装置及具备紫外线照射装置的切削机。在对粘接有晶片的粘接带照射紫外线、使该粘接带的粘接力降低的紫外线照射装置中，具备上侧开口的外壳、配置在外壳内且照射紫外线的紫外线照射机构、以及覆盖外壳的开口并具备使由该紫外线照射机构照射的紫外线透过的紫外线透过区域的盖部件；紫外线照射机构具备发光二极管安装部件、在比晶片的直径长的范围以直线状排列在发光二极管安装部件上的多个紫外线发光二极管、和使发光二极管安装部件向相对于多个紫外线发光二极管的排列方向正交的方向移动的移动机构。

主权项

1、一种紫外线照射装置，对粘接有晶片的粘接带照射紫外线，使该粘接带的粘接力降低，其特征在于，具备上侧开口的外壳、配置在该外壳而照射紫外线的紫外线照射机构、和覆盖该外壳的开口并具备使由该紫外线照射机构照射的紫外线透过的紫外线透过区域的盖部件；该紫外线照射机构具备发光二极管安装部件、在比该晶片的直径长的范围以直线状排列在该发光二极管安装部件上的多个紫外线发光二极管、和使该发光二极管安装部件向相对于该多个紫外线发光二极管的排列方向正交的方向移动的移动机构。