[发明专利]基板烧结炉的供排气系统

摘要

本发明提供一种能量转换效率高、且能够长时间稳定运行的基板烧结炉的供排气系统。将从炉体(10)的排气口(14)排放出来的热排放气体通过风扇(21)作为热风气流而送出到循环路径(20)中，并通过加热器(22)将该气流加热之后，被耐热HEPA过滤器(13)净化而从喷出口(12)再次供给到炉体的内部空间中。在该循环过程中，被加热器加热过的热风的一部分流入到排气管(30)内而通过催化剂单元(31)。由于再次加热之后的高温排放气体通过催化剂单元，所以排放气体在排放气体中所包含的大部分有机物被分解之后流入热交换器(50)。将在热交换器内与排放气体进行热交换而被升温的供给气体送到循环路径中。

主权项

1.一种基板烧结炉的供排气系统，其特征在于，具有：基板烧结炉，其具有炉体、循环路径、风扇以及加热器，其中，该炉体收容基板，并对基板进行烧结处理，该循环路径使从所述炉体排放出的热风循环，并再次供给到所述炉体中，该风扇设置在所述循环路径上，用于使热风循环，该加热器设置在所述循环路径上，用于加热热风；催化剂单元，其具有催化剂，该催化剂用于分解从所述循环路径排放出的热风中所包含的有机物；热交换器，其在从所述催化剂单元排放出的热风和供给到所述循环路径的新的气体之间进行热交换，从加热后热风通过区域将热风排放到所述催化剂单元，其中，该加热后热风通过区域是在所述循环路径中从所述加热器至所述炉体的气体喷出口的区域。