[发明专利]离子束照射装置无效
| 申请号： | 200710112133.8 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101097830A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 松本武;松田恭博;安东靖典;仲村信之;谷井正博 | 申请（专利权）人： | 日新意旺机械股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华;黄启行 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使离子源具有分割结构的电极，也能够对靶施行均匀性良好的处理的离子束照射装置。该离子束照射装置具有引出离子束的离子源、和在从它引出来的离子束的照射区域内，使靶(14)在沿着y轴的方向移动的靶驱动装置。并且，将离子源的电极(8)在沿着与y轴正交的x轴的方向分割成多个电极片(82)而构成，而且将各分割部(22)相对于y轴倾斜而配置。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子束照射装置，具有：离子源，当设相互正交的两个轴为x轴和y轴时，在离子束引出方向具有一张以上的沿着xy平面的电极，该电极具有多个离子引出孔；和靶驱动装置，使靶在从该离子源被引出来的离子束的照射区域内俯视看上去在沿着y轴的方向移动，该离子束照射装置的特征在于，将上述离子源的电极之中的至少一张在沿着x轴的方向分割成多个电极片而构成，而且将各分割部相对于y轴倾斜而配置。
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