[发明专利]研磨头无效
| 申请号： | 200710112605.X | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101327575A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 杨德台;刘国儒;李运海 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨俊波 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨头，适用于化学机械研磨工艺。该研磨头包括内圈部与外圈部。外圈部为环状结构，且连接于内圈部。内圈部与外圈部为一体成型的结构。此外，外圈部的表面与内圈部的表面具有段差，使得外圈部的表面高于内圈部的表面。本发明不需使用耗材就能提升研磨头边缘的研磨率，以改善研磨率的均匀性，能够以施予研磨头固定背压的方式，而获得较佳的研磨均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头，适用于一化学机械研磨工艺，其特征在于，包括：一内圈部；以及一外圈部，该外圈部为环状结构，连接于该内圈部，该内圈部与该外圈部为一体成型，其中该外圈部的表面与该内圈部的表面具有一段差，使该外圈部的表面高于该内圈部的表面。
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