[发明专利]一种微型金属镍模具制作方法无效
| 申请号： | 200710115315.0 | 申请日： | 2007-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN101205054A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 兰红波 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 济南圣达专利商标事务所 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250061山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型金属镍模具制作方法。它采用紫外光纳米压印和微电铸复合工艺，其基本工艺流程是：(1)以电子束直写光刻和干法刻蚀制作母版；(2)以玻璃为基片，对其进清洗和烘干表面预处理；(3)在玻璃基片溅射一层90－110nm厚的Cr/Cu电铸种子层；(4)以步骤(1)制作的母版为压印模具，采用UV纳米压印工艺在紫外光有机光固化基体材料上复制出模具型腔微结构；(5)在基体材料沉积8－12nm厚的Cr/Cu或Au/Ti电铸种子层；(6)在基体材料种子层之上电铸沉积厚度300－500μm镍；(7)附加金属背衬；(8)脱模，得到金属镍模具。该方法具有生产成本低、工艺简单和生产率高等优点，可实现亚微米和纳米微型金属镍模具低成本批量制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 金属 模具 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微型金属镍模具制作方法，其特征在于，它采用紫外光纳米压印和微电铸复合工艺实现微型金属镍模具低成本批量制作，其基本工艺流程是：(1)以电子束直写光刻和干法刻蚀制作母版；(2)以玻璃为基片，对其进清洗和烘干表面预处理；(3)在玻璃基片溅射一层90-110nm厚的Cr/Cu电铸种子层；(4)以步骤(1)制作的母版为压印模具，采用UV纳米压印工艺在紫外光有机光固化基体材料上复制出模具型腔微结构；(5)在基体材料沉积8-12nm厚的Cr/Cu或Au/Ti电铸种子层；(6)在基体材料种子层之上电铸沉积厚度300-500μm镍；(7)附加金属背衬；(8)脱模。
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