[发明专利]一种高灵敏度的镍/硅复合微悬臂梁及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于极微小力(10^－18N)检测的高灵敏度的镍/硅复合微悬臂梁及其制备方法，具有灵敏度高、工艺简单、生产成本低、适合批量制作的优点。它有硅底座，其上有Cr/Cu电铸种子层，该层之上为金属镍微悬臂梁，金属镍微悬臂梁的一端为中空圆锥形针尖，同时微悬臂梁梁体为中空结构。它以中空圆锥形针尖和中空悬臂梁金属镍为基体，以硅为底座，采用复合制备工艺：(1)硅片预处理；(2)硅片背面释放窗口；(3)硅片正面溅射电铸种子层；(4)微悬臂梁和针尖纳米压印成型；(5)针尖表面沉积电铸种子层；(6)微电铸沉积金属镍；(7)制备中空圆锥形针尖；(8)去除针尖另一侧微悬臂结构；(9)底座的制作，完成微悬臂梁的制备。

主权项

1.一种高灵敏度的镍/硅复合微悬臂梁，它包括硅底座，其特征是：所述硅底座上设有Cr/Cu电铸种子层，在该层之上为金属镍微悬臂梁，在金属镍微悬臂梁的一端为中空圆锥形针尖，同时微悬臂梁梁体为中空结构。