[发明专利]一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关有效
| 申请号： | 200710117611.4 | 申请日： | 2007-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101329968A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李全宝;景玉鹏;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01H53/00 | 分类号： | H01H53/00;H01H53/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统(MEMS)应用中的射频微机电系统(RFMEMS)技术领域，公开了一种电磁驱动推拉式RF MEMS开关，该射频微机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分、电磁驱动部分和传输线部分，在电磁驱动部分的平面线圈加电流产生的磁场与电磁驱动部分的永磁体产生的磁场相叠加，改变整体磁场的方向，驱动扭摆梁开关可动部分动作，接通或断开扭摆梁开关可动部分与传输线部分，实现触点通断。利用本发明，提高了开关寿命，解决了现有电磁驱动RF MEMS开关存在的缺陷，降低了功耗，改善了开关的稳定性，降低了加工的复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 驱动 推拉 射频 微机 系统 开关 | ||
【主权项】：
1、一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关，其特征在于，该射频微机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分(7)、电磁驱动部分和传输线部分(8)，在电磁驱动部分的平面线圈加电流产生的磁场与电磁驱动部分的永磁体产生的磁场相叠加，改变整体磁场的方向，驱动扭摆梁开关可动部分(7)动作，接通或断开扭摆梁开关可动部分(7)与传输线部分(8)，实现触点通断。
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