[发明专利]制备非晶及纳米微晶薄膜的基片低温冷却装置

摘要

制备非晶态及纳米微晶态薄膜的基片低温冷却装置，包括：基片冷却腔、基片冷却腔液氮注入管、液氮瓶口密封橡胶塞装置、液氮瓶氮气注入管、数字化气体流量控制器、流量显示仪、高压氮气瓶，冷却腔液氮排出口位于溅射室外，冷却腔液氮注入管的一端从溅射室外部通入冷却腔体内，另一端穿过液氮瓶口密封橡胶塞装置通达液氮瓶瓶底部，数字化气体流量控制器的输出端接液氮瓶氮气注入管，液氮瓶氮气注入管的另一端穿过液氮瓶口密封橡胶塞装置通达液氮瓶瓶内，数字化气体流量控制器的输入端与氮气瓶压力表之间用高压氮气瓶氮气导出管连接，流量控制显示仪与数字化气体流量控制器连接用以调节、控制注入密封液氮瓶内的氮气流量。本发明实现了基片溅射过程中的低温状态及该低温状态可控可调，大大缩短了非晶及纳米微晶薄膜的制备时间，保证了非晶态及纳米微晶态薄膜结构上的高度可靠性。

主权项

1.制备非晶态及纳米微晶态薄膜的基片低温冷却装置，其特征在于包括：基片冷却腔、基片冷却腔液氮注入管、液氮瓶口密封橡胶塞装置、液氮瓶氮气注入管、数字化气体流量控制器、流量显示仪、高压氮气瓶，冷却腔液氮排出口位于溅射室外，冷却腔液氮注入管的一端从溅射室外部通入冷却腔体内，另一端穿过液氮瓶口密封橡胶塞装置通达液氮瓶瓶底部，数字化气体流量控制器的输出端接液氮瓶氮气注入管，液氮瓶氮气注入管的另一端穿过液氮瓶口密封橡胶塞装置通达液氮瓶瓶内，数字化气体流量控制器的输入端与氮气瓶压力表之间用高压氮气瓶氮气导出管连接，流量控制显示仪与数字化气体流量控制器连接用以调节、控制注入密封液氮瓶内的氮气流量。