[发明专利]一种6自由度微动工作台

摘要

一种6自由度微动工作台，属于超精密加工和检测设备技术领域。该微动工作台具有3组布置在水平面内的电磁力驱动单元，驱动微动工作台在水平面内X、Y、θ_z3个自由度的运动；同时还具有3个沿竖直方向布置的电磁力驱动单元，用于实现驱动微动工作台在Z、θ_x、θ_y3个自由度的运动。本发明采用电磁力直接驱动，与叠层结构相比，具有结构简单、紧凑、驱动质心低等优点，因此不存在机械摩擦，无阻尼，具有较高的位移分辨率；可用于补偿光刻机硅片台的定位误差并实现光刻机调平调焦的功能，也可用于超精密加工和检测中以实现6自由度运动；该微动工作台基于洛伦兹原理工作，输出推力与输入电流之间成线性关系，运动控制技术成熟。

主权项

1.一种6自由度微动工作台，包括微动台定子(2)、微动台动子(3)和微动台基座(1)，该微动工作台具有3组布置在水平面内的电磁力驱动单元，每组至少包含1个电磁力驱动单元，其中2组驱动单元的驱动轴线平行但不重合，第3组驱动单元的驱动轴线与前2组正交，所述3组布置在水平面内的电磁力驱动单元实现微动工作台在水平面内X、Y、θz 3个自由度的运动，其特征在于：所述的微动工作台还具有3个沿竖直方向布置的电磁力驱动单元，所述3个沿竖直方向布置的电磁力驱动单元呈三角形布置，驱动微动工作台在Z、θx、θy 3个自由度的运动。