[发明专利]太阳能集热管连续自动溅射镀膜方法及装置

摘要

一种太阳能集热管连续自动溅射镀膜方法及装置，包括设置预真空室和末端真空室，在预真空室和末端真空室之间设置可以相对封闭不接触大气的溅射真空室，通过可变轨迹的传送轨道将各真空室相连接；当工件车进入预真空室后，对预真空室抽真空，使其真空度达到与溅射真空室的真空度相同；在相同的真空度下，工件车由预真空室进入溅射真空室，并对太阳能集热管的表面进行太阳能选择性吸收涂层的溅射沉积；完成全部溅射作业后，工件车进入与溅射室具有相近真空度的末端真空室；关闭溅射真空室后，使所述末端真空室达到常压状态，工件车移至末端真空室外部。本发明大大减少了因溅射室暴露大气污染溅射环境，提高了生产效率，提高了作业效率及镀膜质量。

主权项

1、一种太阳能集热管连续自动溅射镀膜方法，包括：设置预真空室和末端真空室，并在所述预真空室和末端真空室之间设置可以相对封闭不接触大气的溅射真空室，通过可变轨迹的传送轨道将各真空室相连接；当装载有太阳能集热管的工件车进入预真空室后，对预真空室进行抽真空，使该预真空室的真空度达到与溅射真空室的真空度相同；在相同的真空度下，所述工件车由预真空室进入溅射真空室，工件车沿设置在溅射真空室内的环形轨道进行旋转运动，同时装载在所述工件车上的太阳能集热管相对于工件车进行自转运动，通过设置在溅射真空室内的溅射靶对所述太阳能集热管的表面进行太阳能选择性吸收涂层的溅射沉积；完成全部溅射作业后，所述工件车进入与溅射室具有相近真空度的末端真空室；关闭所述溅射真空室后，使所述末端真空室达到常压状态，所述工件车移至末端真空室外部。