[发明专利]基于纯弯梁的光纤光栅加速度计无效
申请号: | 200710118633.2 | 申请日: | 2007-07-11 |
公开(公告)号: | CN101344533A | 公开(公告)日: | 2009-01-14 |
发明(设计)人: | 张文涛;李芳;刘育梁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01P15/02 | 分类号: | G01P15/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及光纤传感器技术领域,公开了一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计,包括:用作光纤光栅加速度计支撑结构的传感器外壳1;用于测量加速度的光纤光栅2;用于安装光纤光栅2的弹性简支梁3;用于安装弹性简支梁3,且固定在外壳1上的第一支座5和第二支座6;安装在弹性简支梁3上,用于调整光纤光栅加速度计灵敏度和自振频率的两个质量块4。利用本发明,提高了光纤光栅加速度计的灵敏度,并改进了光纤光栅加速度计的封装工艺,使栅区获得了均匀应变。 | ||
搜索关键词: | 基于 纯弯梁 光纤 光栅 加速度计 | ||
【主权项】:
1、一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计,其特征在于,该光纤光栅加速度计包括:用作光纤光栅加速度计支撑结构的传感器外壳(1);用于测量加速度的光纤光栅(2);用于安装光纤光栅(2)的弹性简支梁(3);用于安装弹性简支梁(3),且固定在外壳(1)上的第一支座(5)和第二支座(6);安装在弹性简支梁(3)上,用于调整光纤光栅加速度计灵敏度和自振频率的两个质量块(4)。
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