[发明专利]一种测量光学薄膜吸收损耗的方法

摘要

一种测量光学薄膜吸收损耗的方法，其特征在于：利用光学薄膜元件反射或透射光谱随温度变化而发生漂移的现象，选择合适的探测光波长，调整探测激光束(低功率)相对于样品表面的入射角度，使探测光波长处于反射或透射光谱带边缘斜率最大的位置。使用强度周期性调制的(高功率)连续或脉冲激光束作为加热光照射薄膜元件薄膜层和探测光束相同或相邻的位置，使探测光束从样品表面反射或透射光强度受到调制或发生瞬时变化。用光电探测器监测加热激光束照射过程中薄膜元件反射或透射的探测光强度的实时变化监视薄膜元件吸收损耗和光学性能的实时变化，并通过对信号振幅定标实现吸收损耗的绝对测量。另外，通过扫描薄膜元件的横向位置可实现吸收损耗的二维高分辨成像。本方法在一定条件下可以提高吸收损耗测量的灵敏度。

主权项

1.一种测量光学薄膜吸收损耗的方法，其特征在于：(1)采用一束强度周期性调制的功率瓦级或以上的高功率连续激光光束或脉冲激光光束，作为加热光照射到被测光学薄膜元件上，该光学薄膜元件因吸收激光束能量导致照射区域温度上升，引起该区域反射或透射光谱的漂移；(2)选择一束波长靠近所述的光学薄膜元件反射或透射带边缘的功率毫瓦级或更低的低功率连续激光作为探测光束，调整其入射角度使探测光波长处于待测光学薄膜元件被加热前反射或透射光谱带边缘的最大斜率处，同时与加热光束照到样品的相同或相邻位置；(3)由光电探测器监测样品反射或透射的全部探测光强度的变化，得到输出电流或电压信号，通过测量其变化量及其实时变化得到光学薄膜元件的吸收损耗值和光学性能稳定性。