[发明专利]从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法

摘要

一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：低温淋洗所述尾气，加压和冷却进行气液分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便使气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，并将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离；通过升温，将溶解于液态吸收剂中的氯化氢和二氯二氢硅解吸出来；被解吸出来的气态氯化氢和二氯二氢硅再通过控制压力和/或控制温度，进行气液分离，使得氯化氢为气态，二氯二氢硅为液态，由此回收二氯二氢硅。本发明采用干法处理将尾气中的二氯二氢硅回收，并可再用于多晶硅生产中，原料得以充分的利用，减少了污染物，解决了环境污染问题，提高了产品质量，降低了成本。

主权项

1、一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法，所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和氯硅烷，所述氯硅烷主要包括二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包括以下步骤：加压和冷却所述尾气，以便使所述三氯氢硅和四氯化硅变为液态而所述氢气、氯化氢、二氯二氢硅保持为气态，从而通过气液分离将气态的氢气、氯化氢和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，从而将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离；对溶解了氯化氢和二氯二氢硅的吸收剂进行升温和/或加压，以便将氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中解吸出来；和通过控制解吸出来的气态的氯化氢和二氯二氢硅的压力和/或温度使二氯二氢硅变为液态，从而分离氯化氢与二氯二氢硅，由此回收二氯二氢硅。