[发明专利]一种对列阵器件进行老化筛选的装置及方法无效
| 申请号： | 200710120052.2 | 申请日： | 2007-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101363897A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 刘媛媛;李伟;马骁宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R21/02;G01R21/00;H01S5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电子技术领域，公开了一种对列阵器件进行老化筛选的装置，包括：一上压板，该上压板的一端固定有一热沉，热沉与上压板之间有一导热绝缘膜；一下压板，该下压板的一端固定有一热沉，热沉与下压板之间有一导热绝缘膜；一弹簧支杆，用于固定所述上压板和下压板，为上压板和下压板夹持大功率半导体列阵器件提供弹力；所述上压板上固定的热沉与所述下压板上固定的热沉位置相对，在所述弹簧支杆的作用下夹持大功率半导体列阵器件，实现对大功率半导体列阵器件进行老化筛选。本发明同时公开了一种对列阵器件进行老化筛选的方法。本发明可有效剔除掉早期失效的器件，避免了对最终器件进行老化，减少浪费，提高了器件的成品率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 列阵 器件 进行 老化 筛选 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对列阵器件进行老化筛选的装置，其特征在于，该装置包括：一上压板，该上压板的一端固定有一热沉，所述热沉与上压板之间有一导热绝缘膜；一下压板，该下压板的一端固定有一热沉，所述热沉与下压板之间有一导热绝缘膜；一弹簧支杆，用于固定所述上压板和下压板，为所述上压板和下压板夹持大功率半导体列阵器件提供弹力；所述上压板上固定的热沉与所述下压板上固定的热沉位置相对，在所述弹簧支杆的作用下夹持大功率半导体列阵器件，实现对大功率半导体列阵器件进行老化筛选。
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