[发明专利]免封装压电驱动式微小型电场传感器有效
| 申请号： | 200710120281.4 | 申请日： | 2007-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101368988A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;叶超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种免封装压电驱动式微小型电场传感器，该传感器主要由压电驱动元件和感应导体构成，与传统机加工的电场传感器相比，它具有结构简单、成本低、功耗低的优点。与基于微机电技术(MEMS)的微型电场传感器相比，它具有敏感结构免封装，可靠性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 封装 压电 驱动 式微 小型 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种免封装压电驱动式微小型电场传感器，其特征在于，包括压电驱动元件、感应电极和支撑结构；压电驱动元件、感应电极分别固定在支撑结构上，压电驱动元件接地。
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