[发明专利]降低微波等离子体激发难度的方法无效
| 申请号： | 200710121655.4 | 申请日： | 2007-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101119608A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;张贵新;冯剑 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及降低微波等离子体激发难度的方法，属于微波等离子体激发技术领域，本方法包括；在普通的微波反应腔中，插入喷气电离管；在电离管内通入工作气体；对喷气电离管逐渐加大电压直至气体放电，使喷气电离管产生电离流；调节喷气电离管的工作电压使电离流被吹到反应腔内的高场强区域；向反应腔内逐步加入微波能，直至等离子体团激发；调整微波能以维持等离子体，关闭喷气电离管的电压。本发明可使普通微波等离子体反应腔在高气压或大气压下激发等离子体的难度降低，对微波等离子体的实际应用有促进作用。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 微波 等离子体 激发 难度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种降低微波等离子体激发难度的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在普通的微波反应腔中，插入喷气电离管；在电离管内通入工作气体；2)对喷气电离管逐渐加大电压直至气体放电，使喷气电离管产生电离流；3)调节喷气电离管的工作电压使电离流被吹到反应腔内的高场强区域；4)向反应腔内逐步加入微波能，直至等离子体团激发；5)调整微波能以维持等离子体，关闭喷气电离管的电压。
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