[发明专利]一种制备GaMnN稀磁半导体纳米线的方法无效
申请号: | 200710121747.2 | 申请日: | 2007-09-13 |
公开(公告)号: | CN101127303A | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 俞大鹏;宋祎璞;王朋伟 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L21/18 | 分类号: | H01L21/18 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 100871北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备GaMnN稀磁半导体纳米线的方法。本发明方法,包括如下步骤:1)Mn掺杂:在Ga2O3纳米线上原位掺杂Mn;2)氨化:将掺有Mn的Ga2O3纳米线在氨气气氛下进行氨化,得到GaMnN稀磁半导体纳米线。本发明方法简单,对设备要求较低,所制备的GaMnN纳米线具有很强的铁磁性,居里温度高于室温,而且其磁性掺杂浓度可控,纳米线纯度高,产量大,线形可控(调节气压等生长参数可以制备出直径几十纳米到几百纳米的纳米线),可以用于自旋场效应三极管(spin-FET),自旋发光二极管(spin-LED),自旋共振隧穿器件(spin-RTD)等纳米自旋电子器件的制造,具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 gamnn 半导体 纳米 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备GaMnN稀磁半导体纳米线的方法,包括如下步骤:1)Mn掺杂:在Ga2O3纳米线上原位掺杂Mn;2)氨化:将掺有Mn的Ga2O3纳米线在氨气气氛下进行氨化,得到GaMnN稀磁半导体纳米线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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