[发明专利]一种制备GaMnN稀磁半导体纳米线的方法无效

专利信息
申请号: 200710121747.2 申请日: 2007-09-13
公开(公告)号: CN101127303A 公开(公告)日: 2008-02-20
发明(设计)人: 俞大鹏;宋祎璞;王朋伟 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L21/18 分类号: H01L21/18
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 关畅
地址: 100871北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种制备GaMnN稀磁半导体纳米线的方法。本发明方法,包括如下步骤:1)Mn掺杂:在Ga2O3纳米线上原位掺杂Mn;2)氨化:将掺有Mn的Ga2O3纳米线在氨气气氛下进行氨化,得到GaMnN稀磁半导体纳米线。本发明方法简单,对设备要求较低,所制备的GaMnN纳米线具有很强的铁磁性,居里温度高于室温,而且其磁性掺杂浓度可控,纳米线纯度高,产量大,线形可控(调节气压等生长参数可以制备出直径几十纳米到几百纳米的纳米线),可以用于自旋场效应三极管(spin-FET),自旋发光二极管(spin-LED),自旋共振隧穿器件(spin-RTD)等纳米自旋电子器件的制造,具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 制备 gamnn 半导体 纳米 方法
【主权项】:
1.一种制备GaMnN稀磁半导体纳米线的方法,包括如下步骤:1)Mn掺杂:在Ga2O3纳米线上原位掺杂Mn;2)氨化:将掺有Mn的Ga2O3纳米线在氨气气氛下进行氨化,得到GaMnN稀磁半导体纳米线。
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