[发明专利]改进的PVD靶有效
| 申请号： | 200710123033.5 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101100741A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 稻川真;布拉德利·O·斯廷森;细川昭弘;希恩米恩·赫·李;吉瑞伊恩·杰里·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了配置一种物理气相沉积靶组件以使靶粘接层与处理区域隔离。在一实施方式中，所述靶组件包括背板，具有第一表面和第二表面的靶，以及设置在所述背板和所述第二表面之间的粘接层。所述靶的第一表面与处理区域流体接触以及所述靶的第二表面朝所述背板定向。所述靶组件可包括多个靶。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 pvd | ||
【主权项】：
1.一种物理气相沉积靶组件，包括：背板；靶，其具有：远离所述背板定向的第一表面，所述第一表面具有密封构件容纳区域；以及朝所述背板定向的第二表面，以及在所述第二表面和所述背板之间设置的粘接层。
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