[发明专利]固体摄像元件以及固体摄像装置

摘要

提供一种固体摄像元件等，具有可以高效率地对入射光进行聚光的聚光元件，可以缓解急剧的折射率分布。固体摄像元件(尺寸5.6μm×5.6μm)具有：渐变折射率透镜、绿色用滤色片、AL布线、信号传输部、平坦化层、聚光元件(Si光电二极管)以及Si基板。渐变折射率透镜的同心圆结构由SiO₂(n＝1.43)构成，是膜厚为1.2μm，0.8μm的2层结构。并且，渐变折射率透镜是将SiO₂雕刻成同心圆形状的结构，且在中央附近具有平面区域。并且，周围的媒质为空气(n＝1)。

主权项

1.一种固体摄像元件，具有聚光元件，其特征在于，所述聚光元件具有以与入射光的波长同等程度或比入射光的波长短的线宽所分割的带区域，该带区域由具有同心圆结构的多个透光膜构成，且该聚光元件的中心部分具有平面区域，该平面区域的直径与入射光的波长同等程度或比入射光的波长长。