[发明专利]缺陷检查装置及缺陷检查方法无效
| 申请号： | 200710126974.4 | 申请日： | 2007-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN101101266A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 大西孝明 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及可以缩短制造工序的交付期的缺陷检查装置及缺陷检查方法。控制部(14)在检查所搬入的基板时，生成识别基板上的缺陷的缺陷信息。在进行了检查后，控制部(14)比较在该检查时生成的缺陷信息、与检查基板的下层时生成的缺陷信息，去除与所述下层的缺陷重复的重复缺陷，生成识别产生于所述最上层上的缺陷的关注缺陷信息。判断部(13)比较从数据运算部输出的最上层(N)的关注缺陷信息，判断基板的搬运目的地，并通知给控制部(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查装置，该缺陷检查装置针对每一个层制造工序来检查基板上的缺陷，并生成识别所述缺陷的缺陷信息，其特征在于，该缺陷检查装置具有：信息生成单元，其对在检查最上层时生成的所述基板的所述缺陷信息、和检查所述基板的下层时生成的所述基板的所述缺陷信息进行比较，去除与所述下层的缺陷重复的重复缺陷，生成识别产生于所述最上层上的缺陷的关注缺陷信息；以及判断单元，其根据所述关注缺陷信息来判断所述基板的搬运目的地。
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