[发明专利]设计一个探针卡的方法无效

专利信息
申请号: 200710127505.4 申请日: 2002-09-16
公开(公告)号: CN101071153A 公开(公告)日: 2007-11-14
发明(设计)人: B·N·埃尔德瑞基;M·W·勃瑞德缪尔;S·格瑞夫;Y·帕恩特 申请(专利权)人: 佛姆费克托公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/04;G06F17/50
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人: 王允方;刘国伟
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 提供一种从由预定客户通过互联网提供的数据来设计探针卡的方法和系统。将预定客户提供的设计规则输入该系统,并编入到一个数据库中去。由一个自动的计算机系统来确定每一组设计规则的集体可行性,并传递给该预定客户。如果可行,另外一个软件允许该预定客户根据他们设计规则来建立确认包。这些确认包进一步由通常用来描述最终设计的图形文件和确定晶圆接合焊盘数据的确认文件组成。在该客户认可后,确认包被检查并转送到应用工程师。并提供探针卡性能的交互模拟。探针卡性能的数据被并入到一个整体的模拟演习,该整体模拟演习不仅包括该探针卡,还包括在试验中的装置和晶圆上的数据,以及自动测试设备上的数据。
搜索关键词: 设计 一个 探针 方法
【主权项】:
1、一种用于制造探针卡的方法,所述方法包括:通过网络在本地计算机系统处接收来自远程计算机系统的描述要被测试的晶圆的信息;根据所述信息在本地计算机系统处产生验证包,所述验证包包含至少一用于描述用于测试所述晶圆的探针卡的建议设计的电子文件;电子化确定所述建议设计的可接受性;及向所述远程计算机系统传输所述建议探针卡设计的所述可接受性。
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