[发明专利]淀积装置无效
| 申请号： | 200710128785.0 | 申请日： | 2007-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101106848A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 福田直人;吉川俊明;真下精二 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 实现了一种能够提高有机电致发光部件的生产率的真空淀积装置。第一管道连接到用于蒸发有机电致发光材料的淀积源，并且两个第二管道指向由衬底和掩膜组成的两个薄膜淀积对象，由此形成有机淀积薄膜。蒸汽从淀积源同时释放到不同平面上的多个薄膜淀积对象以淀积薄膜，这促进了薄膜淀积时间的减少和装置的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种淀积装置，包括：室；保持单元，其放置在所述室中以用于将多个薄膜淀积对象保持在相互不同的平面中；淀积源，其用于储存要淀积在所述多个薄膜淀积对象上的淀积材料；和流动单元，其连接到所述淀积源以用于将蒸发的淀积材料引导到被保持在相互不同的平面中的所述多个薄膜淀积对象。
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