[发明专利]模块和模块的制造方法无效
申请号: | 200710129074.5 | 申请日: | 2007-07-11 |
公开(公告)号: | CN101110374A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 木村润一;上西谦次;贞野昌则;前畑嘉久;多田信广 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L25/00;H01L23/28;H01L23/29;H01L23/31 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种模块的制造方法,其是具有倒装式安装于衬底上的半导体元件和焊接连接于衬底上的芯片部件的模块的制造方法,其包括:在衬底上安装芯片部件和半导体元件的安装步骤;从半导体元件的侧面的中央部向半导体元件和衬底之间的间隙注入第一树脂的第一注入步骤;在第一树脂到达半导体元件的角部之前,向角部涂敷具有比第一树脂的粘度大的粘度的第二树脂的第二注入步骤;加热模块的固化步骤,通过该方法,提供一种半导体元件和芯片部件之间的距离近、能够高密度安装的模块。 | ||
搜索关键词: | 模块 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种模块的制造方法,其是具有倒装式安装于衬底上的半导体元件、和焊接连接于所述衬底上的芯片部件的半导体安装衬底的制造方法,其特征在于,包括:在所述衬底上安装所述芯片部件和所述半导体元件的安装步骤;从所述半导体元件的侧面的中央部向所述半导体元件和所述衬底之间的间隙注入热固性的第一树脂的第一注入步骤;在所述第一树脂到达所述半导体元件的角部之前,向所述角部涂敷具有比所述第一树脂的粘度大的粘度的热固性的第二树脂的第二注入步骤;加热所述衬底,使所述第一树脂和所述第二树脂固化的固化步骤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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