[发明专利]采用PSD的光电倾角测量装置

摘要

采用PSD的光电倾角测量装置是一种采用PSD(位置敏感探测器)和半导体激光测量倾角的装置，属于光电检测技术领域。现有所谓摆式电容倾角传感器由于其结构所限以及角度计算过程中的近似处理和电容边缘的非线性，其测量范围被限定在±5°之间；由于电容的充放电时间长决定了该传感器响应速度慢，不适合动态在线检测；再有就是其测量精度较低。而本发明将分光折转镜组作为固体摆，同时采用PSD作为检测器件，以半导体激光作为检测光源，利用PSD的位置探测功能，最终实现了较大范围在线精确测量倾角。作为一种光电检测装置与计算机技术结合可用于倾角的动态高精度检测。

主权项

1、一种采用PSD的光电倾角测量装置，含有固体摆，其特征在于，该装置是由PSD(7)、光源(8)和分光折转镜组(9)组成，分光折转镜组(9)作为固体摆呈铅垂状态，PSD(7)、光源(8)各自位于分光折转镜组(9)的两侧，光源(8)的出光方向为水平方向，所发出的光束与分光折转镜组(9)的分光镜面(10)的入射面相对，分光镜面(10)的透射面与PSD(7)的光敏面(6)相对，光源(8)的光轴与分光折转镜组(9)的摆轴平行，光敏面(6)与分光折转镜组(9)的铅垂方向的光轴平行，与光源(8)的光轴垂直，分光折转镜组(9)的反光镜面(11)与光敏面(6)相对，透过分光镜面(10)的光束与由反光镜面(11)反射的光束相平行且均照射在光敏面(6)上。