[发明专利]微电子机械微波信号相位检测器及其制备方法

摘要

微电子机械微波信号相位检测器及其制备方法是一种结构非常简单，测量信号的幅度变大、不需要消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波信号相位检测器及其制备方法，该微电子机械微波频率检测器在衬底(1)上设有第一固支梁结构(a)、第二固支梁结构(b)、第三固支梁结构(c)、第四固支梁结构(d)、第一功率分配器(e)、第二功率分配器(f)、第一功率合成器(g)、第二功率合成器(h)、第一45°移相器(i)、第二45°移相器(j)；使得其结构非常简单，测量信号的幅度变大、不需要消耗直流功率，且便于集成。

主权项

1.一种微电子机械微波信号相位检测器，其特征在于该检测器以砷化镓为衬底(1)，在衬底(1)上设有第一固支梁结构(a)、第二固支梁结构(b)、第三固支梁结构(c)、第四固支梁结构(d)、第一功率分配器(e)、第二功率分配器(f)、第一功率合成器(g)、第二功率合成器(h)、第一45°移相器(i)、第二45°移相器(j)：其中：在衬底(1)上的中间设有CPW的信号线(14)，在CPW的信号线(14)的两旁分别设有CPW的地线(3)，在CPW的地线(3)外的两旁分别设有传感电极(4)，传感电极(4)通过传感电极引线(11)接电容检测端口(13)的一个端，CPW的地线(3)接电容检测端口(13)的另一个端，在传感电极(4)外的两旁分别设有桥墩(5)，在桥墩(5)上设有固支梁(12)，在固支梁(12)下方的CPW的信号线(14)、CPW的地线(3)、传感电极(4)表面设有氮化硅介质层(10)；第一功率分配器(e)、第二功率分配器(f)、第一功率合成器(g)、第二功率合成器(h)由共面波导构成的端口一(6)、端口二(7)、端口三(8)、不对称共面带线(9)、氮化钽电阻(2)组成，端口一(6)通过不对称共面带线(9)分别接端口二(7)、端口三(8)，在与端口二(7)、端口三(8)相接的两不对称共面带线(9)之间连接有氮化钽电阻(2)；第一45°移相器(i)、第二45°移相器(j)由一定长度的CPW的地线(3)、CPW的信号线(14)共同组成。