[发明专利]一种实时测量并控制增重速率的化学气相沉积装置及方法

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积装置及方法，尤其是涉及一种能够实时测量并控制多孔碳预制体增重率和增重速率的化学气相沉积装置及方法，适合于碳/碳复合材料或者碳/碳化硅复合材料在化学气相沉积过程的增重率和增重速率的检测，并可对沉积或渗透过程进行控制。其特征在于包括一套化学气相沉积炉、一套电子地中衡和一套工控机所构成的系统。本发明的优点在于：(1)能够实时测量增重率和增重速率；(2)能够自动识别沉积是否完成；(3)节约时间提高效率；(4)优化化学气相沉积工艺参数；(5)依据沉积速率的变化自动识别判断沉积过程发生的化学反应特征，并对供水、供气、供电、升降温程序等进行相应调整，达到智能控制。

主权项

1.本发明提供一种实时测量并控制多孔碳预制体增重速率的化学气相沉积装置，其特征在于包括一套化学气相沉积炉、一套电子地中衡和一套工控机所构成的系统。电子地中衡安置在平直的水泥地上或地下，化学气相沉积炉反应室放置在电子地中衡承重面上。电子地中衡与工控机之间通过数据线相连接，工控机显示器上能实时显示电子地中衡称量的重量和重量变化率等数据和曲线。优先选择将化学气相沉积炉的供气、供电、供水以及升降温程序全部或部分控制环节与工控机相连，并将地中衡测量与沉积或渗透工艺过程集成。