[发明专利]质谱分析用基板及质谱分析用基板的制造方法有效
| 申请号： | 200710136216.0 | 申请日： | 2007-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101105473A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 宫田浩克;山内一浩;吉村公博 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/64 | 分类号： | G01N27/64;H01J49/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于高效地进行离子化的质谱用分析基板。所述质谱分析用基板由基体、在该基体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为，该无机材料膜具有相对于该基体垂直形成的多个凹部，该凹部的直径在1nm以上低于1μm。 | ||
| 搜索关键词： | 谱分析 用基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种质谱分析用基板，所述质谱分析用基板由基体、在该基体上形成的多孔膜、在该多孔膜上形成的无机材料膜构成，其特征为，所述无机材料膜具有相对于所述基体垂直形成的多个凹部，所述凹部的直径在1nm以上低于1μm。
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